Page 762 - 英示测量INSIZE2025-v.66

Z轴位移平台
型号 6586-60
单位: mm
60 31.5~45.5 35~45
50 25 25 5

25
50 60
25

9-M4深6
4-Ø4.5
技术参数
型号 Z轴位移量 台面对底面平行度 微分头分度值 微分头精度 负载 台面尺寸 重量 交叉滚子导轨, 可实现
高精度、平滑的移动
6586-60 10mm 0.05mm 0.01mm 0.02mm 20.4N(3kgf) 60×60mm 0.27kg 平台材质为铝合金

XZ轴位移平台
型号 6587-60
单位: mm
60 41.5
25 25
12.6

25
53~63 60 25 50
1.5 9-M4深6
4-M4沉头
50 20

技术参数
型号 X轴位移量 Z轴位移量 微分头分度值 负载 台面尺寸 重量 交叉滚子导轨, 可实现
高精度、平滑的移动
6587-60 ±6.5mm 10mm 0.01mm 29.4N(3kgf) 60×60mm 0.51kg
平台材质为铝合金

XY轴旋转位移平台
型号 6588-60 20 单位: mm

M6深6
16
45 50 60
4-M3深6 16
1.5 4-M4深6 Ø60 50
50
4-M4沉头
28
16 16
50
28 60 12.6

19
交叉滚子导轨, 可实现
技术参数 高精度、平滑的移动
型号 XY轴位移量 旋转行程 微分头分度值 旋转分辨率 负载 台面尺寸 重量 可实现角度精密调整
粗、精调两种模式
6588-60 ±6.5mm 360°粗调, ±5°精调 0.01mm 10' 29.4N(3kgf) 60×60mm 0.64kg 平台材质为铝合金

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