Page 761 - 英示测量INSIZE2025-v.66

XY轴位移平台
单位: mm
18

9-M3深5 16
40 32
16
2.5
23
32
16 16
6
4-Ø3.5
23 40 12.6 30
沉头Ø6.5 深3.5 6584-401
59.6 60 12.6 33.5
25 25 30
6 50
12.6 1.5
25
60 50
25

9-M4深5
4-Ø4.5 6584-602
59.6 沉头Ø8 深4.5

20

25
90 80 4-Ø4.5
25 13-M4深6 沉头Ø8 深4.5 80

32.5 25 25 1.5
6
80
80 30
12.6 90 32.5
6584-903
交叉滚子导轨, 可实现高精度、平滑的移动
平台材质为铝合金
一体式, 不可拆分

技术参数(微分头在左侧)
型号 XY轴位移量 台面对底面平行度 微分头分度值 微分头精度 负载 微分头位置 台面尺寸 重量
6584-401 ±6.5mm 0.04mm 0.01mm 0.01mm 29.4N(3kgf) 左侧 40×40mm 0.27kg
6584-601 ±6.5mm 0.06mm 0.01mm 0.01mm 49N(5kgf) 左侧 60×60mm 0.48kg
6584-901 ±12.5mm 0.06mm 0.01mm 0.02mm 93.1N(9.5kgf) 左侧 90×90mm 1kg
6584-1251 ±12.5mm 0.08mm 0.01mm 0.02mm 180N(18.4kgf) 左侧 125×125mm 2.8kg
技术参数(微分头在中间)
型号 XY轴位移量 台面对底面平行度 微分头分度值 微分头精度 负载 微分头位置 台面尺寸 重量
6584-402 ±6.5mm 0.04mm 0.01mm 0.01mm 29.4N(3kgf) 中间 40×40mm 0.27kg
6584-602 ±6.5mm 0.06mm 0.01mm 0.01mm 49N(5kgf) 中间 60×60mm 0.48kg
6584-902 ±12.5mm 0.06mm 0.01mm 0.02mm 93.1N(9.5kgf) 中间 90×90mm 1kg
6584-1252 ±12.5mm 0.08mm 0.01mm 0.02mm 180N(18.4kgf) 中间 125×125mm 2.8kg

技术参数(微分头在右侧)
型号 XY轴位移量 台面对底面平行度 微分头分度值 微分头精度 负载 微分头位置 台面尺寸 重量
19
6584-403 ±6.5mm 0.04mm 0.01mm 0.01mm 29.4N(3kgf) 右侧 40×40mm 0.27kg
6584-603 ±6.5mm 0.06mm 0.01mm 0.01mm 49N(5kgf) 右侧 60×60mm 0.48kg
6584-903 ±12.5mm 0.06mm 0.01mm 0.02mm 93.1N(9.5kgf) 右侧 90×90mm 1kg
6584-1253 ±12.5mm 0.08mm 0.01mm 0.02mm 180N(18.4kgf) 右侧 125×125mm 2.8kg

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