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XYZ轴位移平台
                                                               单位: mm
                                                                                                  型号 6585-60


                                                                   65~75

                                                                 1.5
                                                 50       4-M4沉头
              20      60         41.5
                    25   25
                                          12.6

                                        25
                                                                   50
                                          60
                                        25
                      9-M4深6

                                          28





            技术参数
             型号         XY轴位移量      Z轴位移量     微分头分度值        负载        台面尺寸         重量               交叉滚子导轨, 可实现
                                                                                                    高精度、平滑的移动
             6585-60     ±6.5mm      10mm       0.01mm    29.4N(3kgf)  60×60mm    0.75kg            平台材质为铝合金



                                                                                                  旋转位移平台



                                                                                                              单位: mm
                                                                                                        锁紧螺丝
                                                         29.2   60
                                                                50      8-M3深6             粗精调
                                                               16  16                      切换螺丝
                                                                        4-M4深6
                                                                                                             47.5
                                                                          16
                                                                            50  60       Ø60
                           6583-60H                                       16
                                                                                                             44.5
                                                                        M16xP1.0深6                4-M4沉头
                                                               15        通孔Ø14
                                                                  Ø4
                                                                                     20
                                                                90                                        31.5
                                                                80                    14  3                   锁紧螺丝
                                                               25  25
                                                       62.5
                                                                        25
                                                                          80  90                              粗精调
                                                                9-M4深6              Ø90                       切换螺丝
                            6583-90                                     25
                                                       61.5
                                                                4-Ø4.5
              可实现角度精密调整                                       沉头Ø8深11
              粗、精调两种模式
              平台材质为铝合金
                                                                                                                     19
            技术参数
              型号              行程         台面对底面平行度        同心度     旋转分辨率        负载      台面尺寸       重量
              6583-60H   360°粗调, ±5°精调       0.03mm     0.03mm      12'     29.4N(3kgf)  Ø60mm  0.30kg
              6583-90    360°粗调, ±5°精调       0.04mm     0.03mm      5'      29.4N(3kgf)  Ø90mm  0.50kg


                                                                                                               754
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