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X轴位移平台                                                                                            单位: mm
                                                     18      40     12.6
                                                           16  16              18               32

                                                                        16
                                                                          40           32
                                                                        16
                                                                                  2.5
                                                             9-M3深5
                                                                                            4-Ø3.5
                       6582-401                                                           沉头Ø6.5 深3.5
                                                                                 6

                                                 59.6        60
                                                                               60
                                                           25  25                              50

                                                            9-M4深5   25
                                                                       60                50
                                                                     25
                                                                                  1.5                4-Ø4.5
                       6582-602                                        12.6       6                沉头Ø8 深4.5
                                                                               18


                                                             90     20
                                                             80
                                                            25  25                              80

                                                      25
                                                   90  80                                                80
                                                      25


                                                    12.6                         1.5
                                                          13-M4深6  32.5                             4-Ø4.5
                       6582-903                                                  6                沉头Ø8 深4.5
                                                                               18
           交叉滚子导轨, 可实现高精度、平滑的移动
           平台材质为铝合金

         技术参数(微分头位于左侧)
           型号         X轴位移量     台面对底面平行度       微分头分度值      微分头精度         负载       微分头位置       台面尺寸        重量
           6582-401   ±6.5mm        0.02mm      0.01mm      0.01mm    29.4N(3kgf)    左侧      40×40mm     0.14kg
           6582-601   ±6.5mm        0.03mm      0.01mm      0.01mm    49N(5kgf)      左侧      60×60mm     0.24kg
           6582-901   ±12.5mm       0.03mm      0.01mm      0.02mm    93.1N(9.5kgf)  左侧      90×90mm     0.47kg
           6582-1251  ±12.5mm       0.04mm      0.01mm      0.02mm   180N(18.4kgf)   左侧      125×125mm   1.40kg

         技术参数(微分头位于中间)
           型号         X轴位移量     台面对底面平行度       微分头分度值      微分头精度         负载       微分头位置        台面尺寸       重量
           6582-402   ±6.5mm        0.02mm      0.01mm      0.01mm    29.4N(3kgf)    中间      40×40mm     0.14kg
           6582-602   ±6.5mm        0.03mm      0.01mm      0.01mm    49N(5kgf)      中间      60×60mm     0.24kg
           6582-902   ±12.5mm       0.03mm      0.01mm      0.02mm    93.1N(9.5kgf)  中间      90×90mm     0.47kg
           6582-1252  ±12.5mm       0.04mm      0.01mm      0.02mm   180N(18.4kgf)   中间      125×125mm   1.40kg

         技术参数(微分头位于右侧)
           型号         X轴位移量     台面对底面平行度       微分头分度值      微分头精度         负载       微分头位置        台面尺寸       重量
    19
           6582-403   ±6.5mm        0.02mm      0.01mm      0.01mm    29.4N(3kgf)    右侧      40×40mm     0.14kg
           6582-603   ±6.5mm        0.03mm      0.01mm      0.01mm    49N(5kgf)      右侧      60×60mm     0.24kg
           6582-903   ±12.5mm       0.03mm      0.01mm      0.02mm    93.1N(9.5kgf)  右侧      90×90mm     0.47kg
           6582-1253  ±12.5mm       0.04mm      0.01mm      0.02mm   180N(18.4kgf)   右侧      125×125mm   1.40kg


         751
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