Page 1249 - 英示测量INSIZE2025-v.66
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大行程粗糙度测量方案(非接触式)
             根据客⼾⼯件定制






                                                 跟踪镜头显示器             电脑






                                                                         光谱共焦相机
                                                                             旋转台

                                                                         Y向工作台
                                                                          大理石
                                                                          工作台
                                                                                                                     36
              具备CNC测量功能同批次工件可进行批量测量
              本仪器采用光谱共焦传感器, 线性好, 精度高
              可自动定位角度
              配有Y向移动工作台
              配有跟踪镜头, 实时监测工件









            粗糙度测量技术参数                                                            标准配置
                                                                                         大理石工作台             1个
                             Ra, Ramax, Ramin, Rasd, Rp, Rpmax, Rpmin, Rpsd, Rv, Rvmax,
                             Rvmin, Rvsd, Rz, Rzmax, Rzmin, Rzsd, R3z, Rc, Rcmax, Rcmin,   立柱               1套
                             Rcsd, Rt, Rq, Rqmax, Rqmin, Rdsd, Rsk, Rskmax, Rskmin,      低噪驱动器              1个
             粗糙度参数           Rsksd, Rku, Rkumax, Rkumin, Rkusd, Rsm, Rsmmax, Rsmmin,
                                                                                                            1个
                             Rsmsd, Rs, RΔa, RΔamax, RΔamin, RΔasd, RΔq, RΔqmax,   主机    传感器                1个
                             RΔqmin, RΔqsd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Rλa, Rλamax,         电器控制系统            1个
                             Rλamin, Rλasd, Rλq, Rλqmax, Rλqmin, Rλqsd, Rδc, Rpc, Rmr
                                                                                                            套
                                                                                         多功能调整台            1套
                                                                                                           1
                                                                                         Y向工作台             1套
                             Wa, Wamax, Wamin, Wasd, Wsa, Wca, Wa08, Wc, Wcmax,
                                                                                                           1台
                             Wcmin, Wcsd, Wt, Wz, Wzmax, Wzmin, Wzsd, Wp, Wpmax,         软件                1套
                             Wpmin, Wpsd, Wv, Wvmax, Wvmin, Wcsd, Wq, Wqmax,
             波纹度参数                                                                       电脑主机              1套
                                                                                                           1套
                             Wqmin, Wqsd, Wsm, Wsmmax, Wsmmin, Wsmsd, Wsk,
                             Wskmax, Wskmin, Wsksd, Wku, Wkumax, Wkumin, Wkusd,          显示器               2台
                             WΔq, WΔqmax, WΔqmin, WΔqsd, Wδc, Wmr                        打印机               1套
                                                                                                            套
                                                                                                           1
                                                                                  附件
                                                                                                           1台
                             Pa, Pt, Pp, Pc, Pv, Pz, Pq, Psm, Psk, Pku, RzJ, Rpq, Rvq,   跟踪镜头              1套
             原始轮廓参数
                             Rmq, Pmr, PΔq, Avh, Hmax, Hmin, Area, Pδc, Tilta            校正标准件             1台
                                                                                                           1个
             Motif参数         Ncrx, R, Rx, AR, Nr, Cpm, Sr, Sar, W, Wx, Aw, Wte, Nw, Sw, Saw  安装工具          1套
             X轴测量距离          350mm
             Y轴移动距离          350mm
             立柱移动距离          100mm
             测量范围            200μm
             分辨率             0.008µm
             线性精度            ≤±(5nm+2.8%)
             取样长度            0.025/0.08/0.25/0.8/2.5/8mm
             取样数目            2~7
             测量单位            µm


                                                                                                             1240
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