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粗糙度及轮廓测量仪(不换测头) ⼀次测量实现粗
型号 SPM-5000C 糙度和轮廓分析
视频

一次测量实现粗糙度, 波纹度, 轮廓分析
实现全范围粗糙度, 波纹度测量
可组建无人值守测量系统
气浮防震系统, 减少测量中的干扰
测量报告自由编辑 立柱

测杆和测针
轮廓测量技术参数
X轴测量范围 100mm
X轴分辨率 0.2µm
电脑 手操器
36 X轴驱动速度 0.05~50mm/s
X轴线性精度 ±(0.8+|0.015L|)µm, L为测量长度(mm)
Z轴测量范围 ±10mm 工作台
Z轴分辨率 0.01µm
Z轴驱动速度 0.2~50mm/s
Z轴线性精度 ±(0.5+|0.08H|)µm, H为测量高度(mm)
直线度 0.3µm/100mm
角度测量精度 ±1′
圆弧测量精度 ±(1+R/12)µm, R为2~10mm标准球
测量单位 mm/inch
立柱升降范围 320mm 打印机
电源 220±5%V, 50Hz
(
尺寸 长×宽×高) 1700 820 1900mm
×
×
重量 500kg

粗糙度测量技术参数
Ra, Ramax, Ramin, Rasd, Rp, Rpmax, Rpmin, Rpsd, Rv, Rvmax, Rvmin, Rvsd, Rz, Rzmax, Rzmin, Rzsd, R3z, Rc,
Rcmax, Rcmin, Rcsd, Rt, Rq, Rqmax, Rqmin, Rdsd, Rsk, Rskmax, Rskmin, Rsksd, Rku, Rkumax, Rkumin, Rkusd,
粗糙度参数
Rsm, Rsmmax, Rsmmin, Rsmsd, Rs, RΔa, RΔamax, RΔamin, RΔasd, RΔq, RΔqmax, RΔqmin, RΔqsd, Rk, Rpk,
Rvk, Mr1, Mr2, Rλa, Rλamax, Rλamin, Rλasd, Rλq, Rλqmax, Rλqmin, Rλqsd, Rδc, Rpc, Rmr
Wa, Wamax, Wamin, Wasd, Wsa, Wca, Wa08, Wc, Wcmax, Wcmin, Wcsd, Wt, Wz, Wzmax, Wzmin, Wzsd, Wp,
波纹度参数 Wpmax, Wpmin, Wpsd, Wv, Wvmax, Wvmin, Wcsd, Wq, Wqmax, Wqmin, Wqsd, Wsm, Wsmmax, Wsmmin, Wsmsd,
Wsk, Wskmax, Wskmin, Wsksd, Wku, Wkumax, Wkumin, Wkusd, WΔq, WΔqmax, WΔqmin, WΔqsd, Wδc, Wmr
原始轮廓参数 Pa, Pt, Pp, Pc, Pv, Pz, Pq, Psm, Psk, Pku, RzJ, Rpq, Rvq, Rmq, Pmr, PΔq, Avh, Hmax, Hmin, Area, Pδc, Tilta
Motif参数 Ncrx, R, Rx, AR, Nr, Cpm, Sr, Sar, W, Wx, Aw, Wte, Nw, Sw, Saw
测量范围 ±10mm
分辨率 0.01µm
线性精度 ≤±(4nm+2.5%)
测针半径/角度 5µm/90°
取样长度 0.025/0.08/0.25/0.8/2.5/8mm
取样数目 2~7
测量单位 µm
测量速度 0.1~2mm/s

待续

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