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双向粗糙度及轮廓测量仪
型号 SPM-6000C
视频
智能跟踪控制系统, 实时扫描测量
双向测量
测力恒定
可测量绝对直径
测量实时变速, 高速测量也可保证精度
测针垂直上下运动, Z向坐标点真实测量, 量程更大
轮廓表面数据点云间隔一致, 可实现更高精度测量
可拆分式机台, 可定制无机台款, 体积更小

轮廓测量技术参数
X轴测量范围 325mm
X轴分辨率 0.01μm
X轴驱动速度 5~10mm/s
36 X轴直线度 0.45μm/100mm
X轴线性精度 ±(0.8+L/100)µm, L为测量长度(mm)
X轴测量速度 0.2~0.7mm/s
Z轴测量范围 325mm
Z轴分辨率 0.01μm
Z轴驱动速度 5~10mm/s
Z轴直线度 0.45μm/100mm
Z轴线性精度 ±(0.8+H/100)μm, H 为测量高度(mm)
Z轴测量速度 0.2~0.7mm/s
角度测量精度 ±2′
圆弧测量精度 ±(0.8+R/15)µm, R为2~10mm标准球
测量单位 mm/inch
最大测量角度 72°(向上 ), 89°(向下 )
电源 220±5%V, 50Hz
尺寸 长×宽×高) 1700×820×1900mm
(
重量 500kg

粗糙度测量技术参数

Ra, Ramax, Ramin, Rasd, Rp, Rpmax, Rpmin, Rpsd, Rv, Rvmax, Rvmin, Rvsd, Rz, Rzmax, Rzmin, Rzsd, R3z,
粗糙度参数 Rc, Rcmax, Rcmin, Rcsd, Rt, Rq, Rqmax, Rqmin, Rdsd, Rsk, Rskmax, Rskmin, Rsksd, Rku, Rkumax, Rkumin,
Rkusd, Rsm, Rsmmax,Rsmmin, Rsmsd, Rs, RΔa, RΔamax, RΔamin, RΔasd, RΔq, RΔqmax, RΔqmin, RΔqsd,
Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Rλa,Rλamax, Rλamin, Rλasd, Rλq, Rλqmax, Rλqmin, Rλqsd, Rδc, Rpc, Rmr

Wa, Wamax, Wamin, Wasd, Wsa, Wca, Wa08, Wc, Wcmax, Wcmin, Wcsd, Wt, Wz, Wzmax, Wzmin, Wzsd, Wp, Wpmax,
波纹度参数 Wpmin, Wpsd, Wv, Wvmax, Wvmin, Wvsd, Wq, Wqmax, Wqmin, Wqsd, Wsm, Wsmmax, Wsmmin, Wsmsd, Wsk,
Wskmax, Wskmin, Wsksd, Wku, Wkumax, Wkumin, Wkusd, WΔq, WΔqmax, WΔqmin, WΔqsd, Wδc, Wmr,
原始轮廓参数 Pa, Pt, Pp, Pc, Pv, Pz, Pq, Psm, Psk, Pku, RzJ, Rpq, Rvq, Rmq, Pmr, PΔq, Avh, Hmax, Hmin, Area, Pδc, Tilta
Motif参数 Ncrx, R, Rx, AR, Nr, Cpm, Sr, Sar, W, Wx, Aw, Wte, Nw, Sw, Saw
分辨率 0.01μm
线性精度 ≤±(20nm+5%)
测针半径/角度 5μm/90°
取样长度 0.025/0.08/0.25/0.8/2.5/8mm
取样数目 2~7
测量单位 μm
测量速度 0.1~2mm/s
待续

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